BM-10臺(tái)式平臺(tái)包裝尺寸4.6英寸高，12英寸寬和深，無(wú)需通氣通電，性能是全尺寸氣浮平臺(tái)的10-100倍。該隔振平臺(tái)操作使用簡(jiǎn)單，且性能優(yōu)異。它提供了一個(gè)1.5Hz或更低的水平本征頻率和我們的標(biāo)志性0.5Hz的垂直本征頻率，只需進(jìn)行兩次調(diào)整。BM-10是新一代小型SPM的完美之選，這些SPM在非常緊湊的系統(tǒng)中要求最高的性能。它們也可以兼容潔凈室和真空壞境。