BM-10臺式平臺包裝尺寸4.6英寸高，12英寸寬和深，無需通氣通電，性能是全尺寸氣浮平臺的10-100倍。該隔振平臺操作使用簡單，且性能優異。它提供了一個1.5Hz或更低的水平本征頻率和我們的標志性0.5Hz的垂直本征頻率，只需進行兩次調整。BM-10是新一代小型SPM的完美之選，這些SPM在非常緊湊的系統中要求最高的性能。它們也可以兼容潔凈室和真空壞境。